氧氣濃度檢測儀在半導體制造過程中的重要性

發(fā)布時間：2024-12-18　點擊量：277

氧氣濃度檢測儀在半導體制造過程中的重要性

半導體行業(yè)是一個全球性的巨大行業(yè)，每年都在持續(xù)增長，這意味著對高純度氣體的需求將隨之增長。

擁有可靠的高純度氣體供應對于半導體制造至關(guān)重要，尤其是在智能手機和自動駕駛汽車等先進技術(shù)方面。

生產(chǎn)集成電路的過程很復雜，在所有階段都需要 30 多種不同的氣體，這使得使用的氣體范圍成為任何行業(yè)中廣泛的氣體之一。

氣體是半導體制造的重要組成部分，因為氣體可以產(chǎn)生塑造半導體電氣特性所需的化學反應。由于其復雜性，在制造過程的每個階段使用的氣體都需要精確和準確，以正確配置半導體。

如您所知，氧氣是一種氧化劑，因此它對于產(chǎn)生沉積反應至關(guān)重要。它用于生長用于工藝中各種元素的氧化硅層，例如擴散掩模。

當使用氧氣進行半導體制造時，氣體必須是超高純度的，以防止任何雜質(zhì)影響器件的生產(chǎn)和性能。

在蝕刻過程中，氧氣也用于去除產(chǎn)生的任何額外材料廢料。它也可以用來使任何蝕刻圖案。

最后，氧氣還有助于通過可能改變產(chǎn)品質(zhì)量的氧化反應中和反應性氣體。因此，與氮氣類似，氧氣也有助于確保不會發(fā)生任何污染。

檢測部分采用穩(wěn)定氧化鋯陶瓷的便攜式氧氣計。這是一個集成傳感器、控制單元、流量計、泵和過濾器。

模型	EZY-1-G	EZY-1-R	EZY-1-B	EZY-2-G	EZY-2-R	EZY-2-B
顏色	綠色的	紅色的	藍色的	綠色的	紅色的	藍色的
類型	無采樣泵			帶采樣泵
原則	氧化鋯陶瓷電化學電池
作品	SS盒、TB傳感器、C-301控制單元、帶針閥的流量計等。
測量范圍	1ppm～100% O2
展示	%: 0~99.99%O2 ppm : 0~ 9999ppmO2
輸出	4~20mADC（隔離） 0~1VDC、0~5VDC、0~10VDC（隔離，選其一） RS-232C 繼電器接點：3點（A接點），集電極開路輸出：2點（以下可任意分配）濃度報警：Hi/Lo、HHi/Hi 或 Lo/LLo（LCD 顯示）傳感器異常（故障）報警：加熱器、RTD斷線（LCD顯示）預熱完成信號范圍回復
接點輸入	遠程校準變送輸出（電壓/電流）保持遠程量程切換
量程切換	自動/手動/遠程
初始設(shè)置	0~25.00%O2 / 0~ 9999ppmO2
樣本吸取	樣品壓配合			內(nèi)置泵抽吸
樣品壓力	高達 2 個大氣壓
漂移線性重復性響應速度管道連接樣品流速樣品溫度預熱時間電源配件	±2%FS 以內(nèi)/周 ±1%FS 或 ±1ppm 以內(nèi)，以較大者為準在 ±1%FS 或 ±1ppm 以內(nèi)，以較大者為準 10秒內(nèi)90%響應（如果向高濃度側(cè)擺動） RC1/4 0.2～2L/分鐘最高60℃ 約20分鐘免費電源（85-260VAC）電源線3m

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